OW12-300 是优艾智合(YOUIBOT)2026 年 3 月在上海 SEMICON China 2026 发布的半导体移动操作机器人(复合机器人),面向 12 寸晶圆制程的载具搬运与上下料,主打高洁净等级与「空满交换」作业。本文参数整理自新华网报道与厂商官网新闻稿。

关键参数(公开口径)

参数 规格
发布时间 2026 年 3 月 26 日,SEMICON China 2026(上海)
应用制程 12 寸晶圆制程
兼容载具 FOUP、FOSB、Metal CST 等载具(官网新闻稿口径)
洁净等级 最高满足 ISO CLASS 3
空满交换时间 ≤25 秒(媒体报道口径,称作业节拍与天车系统相当)
连续作业 7×24 小时
振动值 搬运及作业过程低至 0.1g(OW/ATS 系列公开口径)
供电 支持无线充电与不间断运行模式

以上为公开资料整理,以厂商最新规格为准。

产品定位与技术要点

OW12-300 属于优艾智合 O 系列(移动+操作)产品线,定位半导体前道/后道车间的晶圆盒转运与设备上下料:以移动底盘替代天车/OHT 覆盖「没有轨道的那一段」,用机械臂完成取放。厂商公开口径强调其洁净能力(ISO CLASS 3)与交换节拍(≤25 秒),并支持 7×24 连续运行,瞄准的是原本必须改造天车系统才能打通的工序衔接。

同一批发布还有 OW8-350(面向前道工艺,可在 650mm 窄道内通行,同样满足 ISO CLASS 3)与舱内机型 ATS6F,三款共享工业具身智能基座平台 MOMABase。优艾智合长期以「复合移动机器人」为主业,2022 年曾牵头复合移动机器人行业标准,品类经验在其产品谱系中属于主线能力;对晶圆厂用户而言,SEMI 系列认证与洁净口径是选型时需要向厂商书面确认的关键项。

适用场景

  • 晶圆盒在工序设备间的自动转运与空满交换:≤25 秒节拍对标天车(品类全景见复合机器人目录)
  • 半导体车间「最后一米」上下料:底盘+机械臂替代人工投取料(效益测算逻辑见仓配自动化专题)
  • 与弹夹转运、洁净检测机型混布组线:与 OW8-350、ATS6F 同平台协同

同类产品与选型

半导体移动操作档位可对比海康机器人 HCR 复合机器人(视觉+底盘全自研链路)、节卡 JAKA S³ 移动作业机器人(±0.5mm 综合定位、通用行业)与墨影 CS 系列移动协作机器人(单控制器一体化路线)。半导体场景需把洁净等级、SEMI 认证与振动指标放在参数表首位。

来源与核验

核验日期:2026-09-13。